服务案例

                                                         Head motor  repair system                                                                                                                   Conditioner base repair system

Spare Parts to Keep In Clean Room                                                             Services for Pad Con    Arm and Testing

Critical Parts for 300mm Tools                                                                                  Overhaul of Pad Con Arm for  300mm/200mm Reflexion 

1/ Pump                                                                                                                 and LK Reflexion Amat CMP Tool. Include service of

2/ Flow Controller                                                                                                      1.  Change bearing of Pad Con Arm

3/ Servo Driver                                                                                                       2.  Test drive for Pad Con sweep, rotation , Home Sensor, 

4/ Test Jig                                                                                                                   Pad Con downforce

5/ PCB Boards                                                                                                        3.  Check vibration of  Sweep and Rotation motor

                                                                                                                                 Trace recorded of Pad Con Arm Service Report

Refurbish Program for CMP Spindle and Kollmorgen Servo Drive 

Refurbish for Spindle and motor. Test with Applied Instruments special own program to check.

With that, end user did not worry about the working condition after hazard installation 

Service Of Malema CLC flow Controller 

 Services include 

1/ Change Pitch tubing

2/ Flow valve

3/ Test flow rate 

Services and Repair Motor     Drivers   (NSK, Kollmorgen, Sanyo Denki     etc)

Mirra Mesa, Reflexion and LK

Reflexion Amat CMP Tool parts Driver.